第170章 技术攻坚(第2/4 页)
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专家教授团队的成员们拿着姜老团队提供的文档，如获至宝地回到自己的办公室，开始更加深入地研究。他们根据文档中的硬件参数，对控制系统的架构进行进一步细化。
一位年轻的研究员小王对着文档中的光刻机工作台移动精度数据，皱着眉头思考：“这个精度要求对于控制系统的信号传输和指令生成模块的响应速度要求极高，我们之前的设计可能还需要调整。”
旁边的张教授听到后说：“没错，我们要重新评估每个模块的性能指标，确保整个系统在与硬件对接时能够完美运行。”
与此同时，姜老的团队也没有闲着。他们带领着专家教授团队的部分成员深入到光刻机实验室，实地讲解光刻机各个硬件部件的工作原理。
姜老指着光刻机的光源部分说：“这个EUV光源的功率输出是非常关键的参数，控制系统需要精确地对其进行监测和调整。在光刻过程中，光源功率的微小波动都会影响到光刻的精度。”
专家教授团队的成员们认真地记录着姜老的讲解，不时提出一些问题。
“姜老，那这个光源功率波动的正常范围是多少呢？我们在设计控制系统的监测算法时需要这个数据。”一位成员问道。
姜老耐心地回答：“正常情况下，我们希望这个波动范围控制在±0.1%以内，这是目前我们在硬件上能达到的最佳水平。所以你们的控制系统要尽可能精确地将其稳定在这个范围内。”
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