第9章 离子束抛光，拿它七八个诺奖(第4/7 页)
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“那倒是!”范晓明起身给自己倒了一杯茶。
苏哲见范晓明端着茶坐到沙发上，他指着笔记本电脑屏幕问：“晓明哥！你这是在干啥？”
“分析数据！”范晓明喝了一口热茶，解释说，“我跟着我导师研究euv光刻机光学镜头的事你是知道的，这光学镜头的制造是非常麻烦的，光学镜头的物质组成暂且就不说了，就说说光学镜头的镜面加工，其中……”
范晓明讲得很仔细，苏哲听的很认真。
目前，给制造euv光刻机制造商bsl提供光学镜头的是欧罗巴的公司蔡斯。
蔡斯公司加工光刻机镜头用了精密机床铣磨，后续经过小磨头抛光、磁流变抛光和离子束抛光达到012纳米的面型精度峰谷值和20皮米的表面粗糙度。
“现在，有了更加先进的数控光学加工中心，其中包含了应力盘抛光和磁流变抛光，经过这些，光学镜头能够达到10纳米的面型精度峰谷值和2纳米的表面粗糙度。”范晓明有些自豪的说。
“我们能自主生产这种数控光学加工中心吗？”苏哲问。
“可以！”范晓明有些失落的说，“现在，我们的问题就出在离子束抛光上，我们研发中心造出来的离子束抛光设备对数控光学加工中心加工出来的光学镜头抛光，光学镜头只能够达到1纳米的面型精度峰谷值和200皮米的表面粗糙度，和蔡斯加工的相比，差了整整一个数量级。”
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