第18章 DYN-离子束抛光技术,灵感乍现(第2/8 页)
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当然,他做的都是理论,考虑到的因素基本上是理想状态下了,要在工程上实现,难度还是有的。
就比如离子束的能量控制,以及加工环境的控制,有着很多现实、工程上的难题。
相对的,他对工程实现这一块非常的薄弱。
这时他知道,要想在探索宇宙和研究基本粒子的这条路上走的更远,不仅要掌握理学相关的知识,工学相关的知识也要掌握。
想到这,苏哲站了起来,活动活动身体。
不管怎么说,他已经在理论上突破了离子束抛光技术精度,以他的计算结果看,使用这种离子束抛光技术,光学镜头镜片平面镜面能达到006纳米的面型精度峰谷值和10皮米的表面粗糙度。
较蔡斯公司加工出来的012纳米的面型精度峰谷值和20皮米的表面粗糙度要强上不少。
且加工光学镜头镜片的曲面精度能够达到01纳米的面型精度峰谷值和16皮米的表面粗糙度。
这样加工出来的光学镜头的镜片,不管是平面的精度,还是曲面的精度,使用在euv光刻机上都是绰绰有余的。
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