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第53章 铍,三组不同的比例(第2/6 页)

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“老牛!我们继续。”司文博笑着说。

“好!”牛光辉继续说等离子体euv光源的问题。

苏哲一边听着,一边在脑中快速的计算着。

牛光辉相关的参数说的很详细,也点出了问题的所在,及锡滴在大功率波长106微米红外光的照射下会出现不稳,导致的结果是无法获得波长135纳米的紫外光。

听完这些,苏哲没在听牛光辉和司文博两人的讨论了,自顾自的在大脑中计算起来。

说来也巧,这等离子体euv光源产生的原理和他研究的zgz-原子振动模型有点关系。

他们大的框架是一样的,及原子在特定的状态下吸收了特定波长的电磁波,从而释放了波长特定的电磁波。

相对来说,zgz-原子振动模型是个特列。

苏哲有了搭建zgz-原子振动模型的经验,计算euv光刻机使用的euv光源的速度要快的多。

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