第67章

能够在完成大改造的同时，也注意到这些细枝末节，很不简单。 这个小项目的顺利完成，也算是他们与计算科技研究所合作的一个进步，对方现在可是再不停地催促。 他感觉最近老师的白头发都多了不少，估计是烦的。 因为合作的原因，闫旭东嘴里的休息也不过是一个下午，第二天三人就被分配了新的任务。 李筠被分到研究半自动接近式光刻机的赵本民教授，因为姜文泽教授接触式这里人手充足，而新开发的接近式和投影式还处于正在开发的阶段，需要的人手不少，像是其他两人就被分到了投影式实验室。 说来，她第一次来到实验室看到的就是接触式和投影式的对抗现场，就是不知道后面结果如何。 人手是真的缺，她刚到实验室，就被赵本民教授的助手赵蔓分配到负责物镜的组别。 可以说，除了光源之外，光刻机的研究当中，镜头就是其最核心的部分，包括物镜和曝光台。 李筠被分到的是物镜观察，她需要一遍又一遍地观察从激光器发射而来的激光，通过矫正器、能量探测器、光束形状设置、遮光器到达掩膜台后，透过物镜在硅片上显影蚀刻制作晶圆。 物镜可以调整光束的形状，入瞳、透过平面、出瞳，将掩膜上的电路图案调整缩小，聚焦成像在晶圆上。 对于像差调节的要求特别高，不确定性很大，她自己都不敢说，什么时候才能调整出最合适的比例。 唯一值得庆幸的一点就是，接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙，不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染，只得关闭设备重新再来一次。 负责带着李筠学习的赵蔓，看着她那熟练的动作，满意地点点头。 终于送来的不是一个愣头青，什么都不懂的人，要知道他们团队现在的任务非常重，时间紧迫，根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。 她看着李筠有模有样的动作说：“看你的样子也不是什么完全新手，你和于亮一起负责物镜的调试，不断找出最小比例的组合模式，有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙，你们俩记得合作才能发挥最大的力量。” 说完，她也不等两人回答，转身离开。 于亮也是个只想要做事的性子，直接站到观察位，冷冷地出声道： “那么我先来，李筠你负责记录现在的物镜调配情况，以及晶圆显影比例。” “没问题。” 李筠让开自己的位置，让于亮先行，泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力，等到于亮不行了，她迅速顶上就行，没必要争一时之快。 拿出他们放在一旁的记录册子，拿着笔记录下现在的情况。 和他们一样组合的人还有不少，每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的，只为找出最合适的搭配。 之前因为人手的问题，都是于亮自己一个人单独进行。 刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度，可很快他就看出了李筠不是一般人，在他还没有提醒的时候，就已经手速飞快，把自己想要说的数据记录在册。 这种完美搭档一起做事就是顺心，短短几个小时，就已经达成了他之前一天的工作量。 于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感，他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼，摇摇头，不甘心地往下走。 对着李筠说：“接下来你来观察，我记录。” “可以。” 李筠将最后一笔记下，将册子和笔交到于亮手里，自己则是登上观察位，查看情况。 依据自己刚刚的观察，开始调整物镜内部的透镜位置。 于亮看到这一幕刚想提醒些什么，但很快就收回自己的手，他根据刚刚对李筠的观察，相信她不是无的放矢。 很快，当他看见新出来的数据之后，不由自主地瞪大双眼。 因为掩膜板与光刻胶基底层之间的空隙，他们能够避免掩膜的污染，制作时间大大缩短。 但同时也带来了另外一个隐患，那就是空隙的存在会使得原先的缩放比例大大变低，在晶圆上的成像会变得更加模糊。 于亮相信只要是自己的眼神没出问题的话，眼前的这个缩放比例已经达到了原先该有的水准。 不说提高，就这样的变化就足以让其他人侧目。 他有些惊讶地观察李筠的表情，在看到她还想要继续调整的时候，赶紧出声打断： “等等！这样就很好了，你先别动。” 由于太着急，他的音量不算下，其他听到动静的人也纷纷向着两人的方向看过来。 李筠转身看到的就是这样的画面，她有些疑惑地看着于亮说：“怎么了？” “你现在这个角度刚刚好，先别动，我这里还要再记录一点东西。” 众人一起停手的动静不算小，赵蔓也很快注意到两人这边的异样，看着其他人停下手里的事情，路过的时候小声提醒道： “你们先别停，我去看看情况。” 众人这才歇了看热闹的心思，继续将眼神放到自己眼前，但也有些好事的，还是阻挡不了自己的好奇心，频频侧头观察李筠那边的动静。 赵蔓到达时，看到的就是一人站在观察位不动，一人飞速记录的场面。 她的目光随即转移到李筠身上，疑惑地问：“你们这边是出了什么问题吗？” 李筠摇摇头，眼神看向一旁的于亮。 于亮没有回答两人的问题，继续在记录册上写写画画，好一会儿才停下自己的手，因为长时间高强度的使用，还情不自禁地甩甩自己的手腕。 而后勾起嘴角，眼神当中几乎是藏不住的喜色，看着一旁的赵蔓激动地说： “我们…我们已经复原出原本物镜应该到达的指数，赵师姐，你看。” 说着，就把自己手里的记录册递到赵蔓手里。 第一秒映入眼帘的就是于亮那手粗糙的画技，把物镜的角度画得乱七八糟，她根本看不明白，果断移开视线，看向上面记录的数据。 当她看到成像比例的时候，眼睛瞬间睁大，眼神惊喜地在李筠和于亮两人身上来回移动。 忍不住夸赞出声道：“你们俩非常了不起，这个发现我要赶紧告诉教授，你们俩这边暂时别动，等会儿教授也要过来看。” 说罢，带着手里得到记录册通通离开。 其他耳朵尖的，也明白是两人这边有了新发现，赶紧放下自己手里的东西围过来看，叽叽喳喳地指着物镜的方向讨论。 等到赵蔓带着赵本民教授来的时候，看到的就是这样一副闹哄哄的场面。 她赶紧加大的音量喊道：“都让让！都让让！教授来了。” 话音刚落，人群若鸟兽散，迅速给赵蔓和赵教授让出一条路，此时的李筠也早已经离开了观察位，与于亮站在一起。 赵本民看着眼前的机器，侧头问了赵蔓一句，眼神就不断地在李筠和于亮身上游离。 但第一时间还是站上观察位，查看内部透镜的具体方位，顺便还按下按钮，亲眼观察数据表现。 当看到上面的数据与记录册上的大体相似时，他这张一直皱着眉头的脸，难得的露出笑容，就像是连绵阴雨的春日突然闯入明媚的阳光，看着人都轻松不少。 随后，他的眼神放到李筠两人身上，追问道： “你们俩是怎么想出来这种配合方式的？” 于亮可以说这件事和自己的关系不大，听到这话，立即看向一旁的李筠。 见状，李筠也是站出来解释，“之前看过于亮的调配方式，学生想到光束相当于球面波，因为透镜和其他因素的印象会造成偏离，导致像差。于是，依据之前形成的数据，观察其中变化，不断尝试、校正……”